กล้องจุลทรรศน์แบบส่องกราด

2.7  กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด (Scanning  Electron Microscopy: SEM)  (ปิ่นสุภา  ปีติรักษ์สกุล; 2545:220)

          กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด (Scanning  Electron Microscopy) หรือ SEM  เป็นเครื่องมือที่ใช้วิเคราะห์ลักษณะชิ้นงานในหลายสาขา  เช่น  วัสดุศาสตร์  ไมโครอิเล็กทรอนิกส์  ธรณีวิทยา  ชีววิทยา  และการแพทย์  เนื่องจากสาขาวิชาต่างๆ  จำเป็นที่ต้องทำงานเกี่ยวกับวัสดุและชิ้นส่วนประกอบท่มีขนาดเล็กมากซึ่งไม่สามารถวิเคราะห์ได้จากเครื่องมือธรรมดาทั่วไป  SEM  มีจุดเด่นที่สำคัญ 3 ประการ  ได้แก่  สามารถให้ภาพที่มีความชัดลึกสูง  (High  depth  of field)  สามารถให้กำลังแยกแยะเชิงระยะสูง(High  spatial resolution)และสามารถใช้ร่วมกับเทคนิคอื่นๆ  เช่น แบบเอนเนอร์ดิสเพอร์สีฟเอกเรย์สเปกโทรเมทรี  (Energy  Dispersive  Spectrometry: EDS)  และแบบเวฟเลงท์ดิสเพอร์สีฟเอกเรย์สเปกโทรเมทรี  (Wavelenth  Didpersive  Spectrometry: WDS)